AERA株式会社 HM101 质量流量计
质量流量控制器
为了提高半导体生产设备的性能，我们利用先进的研发成果，将高性能、精密流体控制设备商业化，为高科技产业的发展做出了贡献。

AERA株式会社 HM101  质量流量计

AERA株式会社 HM101  质量流量计

产品优势

• ‌高速响应性‌：输入设定值后2秒以内即可实现流量稳定

• ‌易安装性‌：配备标准连接器与统一安装尺寸，适配性强

核心特性

• ‌密封结构‌：采用橡胶弹性体密封设计

• ‌连接规格‌：接口 合VCR™、Swagelok™行业标准

• ‌流量量程‌：满量程覆盖10SCCM~200SLM全范围

• ‌阀门配置‌：支持常闭型或常开型电磁阀控制

• ‌泄漏指标‌：氦气检测外部泄漏率≤1×10⁻⁷Pa·m³/s

广泛适配各类工业现场的Aera FC-R7700系列，是一款采用简洁模拟控制的橡胶密封型质量流量控制器。

在半导体、平板显示器、数据存储设备、工业真空设备、工业镀膜等领域，该系列可适配CVD、PVD、刻蚀、离子注入、溅射、热氧化膜制备、光学玻璃镀膜、光纤生产、表面处理等所有使用非腐蚀性气体的工艺场景。FC-R7700系列凭借高可靠性与优异性能，可助力工艺与设备工程师高效推进工作。
本产品 符合欧盟RoHS指令要求。

低成本特性

针对追求高性能、但无需金属密封耐腐蚀性与超高泄漏性能的应用场景，FC-R7700系列兼具出色的经济性、低噪音与低功耗优势。

易安装特性

该型号配备标准电气接口与统一关键安装尺寸，可轻松适配现有系统完成换装；相比数字控制型号，整体噪音更低、功耗表现更优。

高速响应特性

FC-R7700系列搭载高灵敏度、高速响应的小口径传感器，可实现优异的流量控制性能。同时支持常开/常闭型电磁阀配置，可灵活适配不同工艺需求，FC-7700CD/7700D/7710CD/7700D系列在输入设定值后2秒内即可完成稳定控制。

高可靠性与成熟应用实绩

相比数字型号，FC-R7700系列使用的电子元器件数量更少，且未搭载DC-DC转换器，可实现长期稳定的高可靠性运行。目前全球已有约4万台该系列设备在各行业现场服役，年返修率不足0.5%，市场口碑优异。

补充说明

该系列是Aera（现归属Astemo安斯泰莫）面向非腐蚀气体场景推出的经济型模拟量MFC，和金属密封的FC-R7800系列形成高低搭配，是半导体、镀膜产线中替换老款设备的通用标准型号。

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