AERA株式会社 FC-R7820CD 质量流量计
质量流量控制器
为了提高半导体生产设备的性能，我们利用先进的研发成果，将高性能、精密流体控制设备商业化，为高科技产业的发展做出了贡献。

AERA株式会社 FC-R7820CD 质量流量计

AERA株式会社 FC-R7820CD 质量流量计

产品优势

• ‌高速响应性‌：输入设定值后2秒以内即可实现流量稳定

• ‌易安装性‌：配备标准连接器与统一安装尺寸，适配性强

核心特性

• ‌密封结构‌：采用橡胶弹性体密封设计

• ‌连接规格‌：接口 合VCR™、Swagelok™行业标准

• ‌流量量程‌：满量程覆盖10SCCM~200SLM全范围

• ‌阀门配置‌：支持常闭型或常开型电磁阀控制

• ‌泄漏指标‌：氦气检测外部泄漏率≤1×10⁻⁷Pa·m³/s

广泛适配各类工业现场的Aera FC-R7700系列，是一款采用简洁模拟控制的橡胶密封型质量流量控制器。

在半导体、平板显示器、数据存储设备、工业真空设备、工业镀膜等领域，该系列可适配CVD、PVD、刻蚀、离子注入、溅射、热氧化膜制备、光学玻璃镀膜、光纤生产、表面处理等所有使用非腐蚀性气体的工艺场景。FC-R7700系列凭借高可靠性与优异性能，可助力工艺与设备工程师高效推进工作。
本产品 符合欧盟RoHS指令要求。

低成本特性

针对追求高性能、但无需金属密封耐腐蚀性与超高泄漏性能的应用场景，FC-R7700系列兼具出色的经济性、低噪音与低功耗优势。

易安装特性

该型号配备标准电气接口与统一关键安装尺寸，可轻松适配现有系统完成换装；相比数字控制型号，整体噪音更低、功耗表现更优。

高速响应特性

FC-R7700系列搭载高灵敏度、高速响应的小口径传感器，可实现优异的流量控制性能。同时支持常开/常闭型电磁阀配置，可灵活适配不同工艺需求，FC-7700CD/7700D/7710CD/7700D系列在输入设定值后2秒内即可完成稳定控制。

高可靠性与成熟应用实绩

相比数字型号，FC-R7700系列使用的电子元器件数量更少，且未搭载DC-DC转换器，可实现长期稳定的高可靠性运行。目前全球已有约4万台该系列设备在各行业现场服役，年返修率不足0.5%，市场口碑优异。

补充说明

该系列是Aera（现归属Astemo安斯泰莫）面向非腐蚀气体场景推出的经济型模拟量MFC，和金属密封的FC-R7800系列形成高低搭配，是半导体、镀膜产线中替换老款设备的通用标准型号。

山金工业是家日本综合商社，总部在日本大阪，主要做mro工业品服务，代理AND爱安德 SANKO山高 RIYYO理阳  SIBATA柴田科学  AMADA山田  TOKI东机产业 HEIDON新东科学  NS精密科学  NPM脉冲 NKKATO日陶 OHKURA大仓 THOMAS托马斯 SUGIYAMA杉山电机 ULVAC爱发科 Kakuhunter写真化学 EBARA荏原 OTSUKA大塚電子 ARLIN艾阿尔 HAYASHI 林时计  NIPPON GEAR日本齿轮 watson沃森 ORIHARA折原

优势品牌： MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、骏河精机 SURUGA SEIKI .fujikin富士金 FujiElectric富士电机 tohnichi东日 UNITTA优尼塔   Advantec东洋  primix株式会社 TAKEX竹中电子  TANAKA田中科学   OBISHI大菱    TAKASAGO高砂电气   sugawara 菅原 orientalmotor东方马达 等日系设备

INNODIS 一诺迪思 韩国SEBA赛巴  韩国DK-LOK 韩国HGT  韩国BOXCO 韩国DIT东日技研  韩国HANIL韩一 韩国 WOONYOUNG 云永  HANYOUNG 韩国韩荣   WOOILFLUCON韩国  DONGBANG东方机械 韩系设备