LINTEC琳得科 HX-0050A 紧凑型热交换器
这款高性能、全能型数字质量流量控制器有多种可选配置：液化气体、微流量 FS、宽范围、定制间距长度或接头类型等。
即使在低温下也能实现高精度流量测量。它能抑制传感器的热老化，即使对于臭氧等易分解气体也能进行流量控制。

LINTEC琳得科 HX-0050A 紧凑型热交换器

LINTEC琳得科 HX-0050A 紧凑型热交换器‍

LINTEC琳得科质量流量控制器是日本 的精密流体控制设备，全系采用SUS316L接气材质，适配氮气、氩气等常规工艺气体及部分腐蚀性特种气体，广泛应用于半导体、光伏、显示面板 制造场景。

核心主流系列型号

表格

系列名称核心流量量程核心性能特点参考价格区间典型适配场景

MC-7000高速响应系列10SCCM~20SLM响应速度0.2秒，支持EtherCAT/DeviceNet总线，兼容腐蚀性特种气体 半导体8/12寸晶圆刻蚀、PECVD薄膜沉积等高速精密制程

MC-5000通用量产系列10SCCM~200SLM符合SEMI标准，金属硬密封，支持多路并联同步配比 OLED面

MC-3000经济型系列10SCCM~200SLM结构紧凑，RS485通讯，低压差款适配液化气体 实验室研发设备、中小型镀膜设备、气体分析仪器

MC-700可变更流量系列10SCCM~50SLM本体带3位旋转开关，单台可切换多种气体与流量参数 通用工业气体配比、小型实验装置，大幅减少备用设备数量

MM高温耐腐蚀系列10SCCM~200SLM支持最高120℃高温工况，强化耐腐密封材质 ALD高温前驱体供气、特种腐蚀气体高温输送

LC-3000液体专用系列0.1g/min~30g/min（乙醇/水换算）无脉冲微流量液体控制，不受次级真空压力影响 精密液体微量配比、真空环境下液体输送控制

核心通用技术特性

‌材质与密封‌：接气部标配‌SUS316L‌，密封件采用PCTFE、PTFE或金属硬密封，氦气泄漏率低至1×10⁻¹⁰Pa·m³/s， 适配你之前关注的高纯氮气、氩气工况。

‌精度与稳定性‌：全系列主流型号控制精度可达±1.0%设定值，小流量段精度进一步提升至±0.25%满量程，搭载自研环境温度补偿传感器，5~50℃宽温域稳定运行。

‌通讯与安装‌：支持RS485、DeviceNet、EtherCAT等多种工业总线，多数型号支持任意姿态自由安装，适配复杂产线布局。

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