LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量控制流量计
这款高性能、全能型数字质量流量控制器有多种可选配置：液化气体、微流量 FS、宽范围、定制间距长度或接头类型等。
即使在低温下也能实现高精度流量测量。它能抑制传感器的热老化，即使对于臭氧等易分解气体也能进行流量控制。

LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量控制流量计

LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量控制流量计‍

LINTEC琳得科质量流量控制器是日本 的精密流体控制设备，全系采用SUS316L接气材质，适配氮气、氩气等常规工艺气体及部分腐蚀性特种气体，广泛应用于半导体、光伏、显示面板 制造场景。

核心主流系列型号

表格

系列名称核心流量量程核心性能特点参考价格区间典型适配场景

MC-7000高速响应系列10SCCM~20SLM响应速度0.2秒，支持EtherCAT/DeviceNet总线，兼容腐蚀性特种气体 半导体8/12寸晶圆刻蚀、PECVD薄膜沉积等高速精密制程

MC-5000通用量产系列10SCCM~200SLM符合SEMI标准，金属硬密封，支持多路并联同步配比 OLED面

MC-3000经济型系列10SCCM~200SLM结构紧凑，RS485通讯，低压差款适配液化气体 实验室研发设备、中小型镀膜设备、气体分析仪器

MC-700可变更流量系列10SCCM~50SLM本体带3位旋转开关，单台可切换多种气体与流量参数 通用工业气体配比、小型实验装置，大幅减少备用设备数量

MM高温耐腐蚀系列10SCCM~200SLM支持最高120℃高温工况，强化耐腐密封材质 ALD高温前驱体供气、特种腐蚀气体高温输送

LC-3000液体专用系列0.1g/min~30g/min（乙醇/水换算）无脉冲微流量液体控制，不受次级真空压力影响 精密液体微量配比、真空环境下液体输送控制

核心通用技术特性

‌材质与密封‌：接气部标配‌SUS316L‌，密封件采用PCTFE、PTFE或金属硬密封，氦气泄漏率低至1×10⁻¹⁰Pa·m³/s， 适配你之前关注的高纯氮气、氩气工况。

‌精度与稳定性‌：全系列主流型号控制精度可达±1.0%设定值，小流量段精度进一步提升至±0.25%满量程，搭载自研环境温度补偿传感器，5~50℃宽温域稳定运行。

‌通讯与安装‌：支持RS485、DeviceNet、EtherCAT等多种工业总线，多数型号支持任意姿态自由安装，适配复杂产线布局。

山金工业是家日本综合商社，总部在日本大阪，主要做mro工业品服务，代理AND爱安德 SANKO山高 RIYYO理阳  SIBATA柴田科学  AMADA山田  TOKI东机产业 HEIDON新东科学  NS精密科学  NPM脉冲 NKKATO日陶 OHKURA大仓 THOMAS托马斯 SUGIYAMA杉山电机 ULVAC爱发科 Kakuhunter写真化学 EBARA荏原 OTSUKA大塚電子 ARLIN艾阿尔 HAYASHI 林时计  NIPPON GEAR日本齿轮 watson沃森 ORIHARA折原

优势品牌： MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、骏河精机 SURUGA SEIKI .fujikin富士金 FujiElectric富士电机 tohnichi东日 UNITTA优尼塔   Advantec东洋  primix株式会社 TAKEX竹中电子  TANAKA田中科学   OBISHI大菱    TAKASAGO高砂电气   sugawara 菅原 orientalmotor东方马达 等日系设备

INNODIS 一诺迪思 韩国SEBA赛巴  韩国DK-LOK 韩国HGT  韩国BOXCO 韩国DIT东日技研  韩国HANIL韩一 韩国 WOONYOUNG 云永  HANYOUNG 韩国韩荣   WOOILFLUCON韩国  DONGBANG东方机械 韩系设备