MIYUKI美幸辉 GAR-C63B 真空控制闸阀
两大密封路线
AB/ABR 系列（金属波纹管型）：无摩擦、低放气、可 200℃烘烤，漏率低至超高真空、半导体洁净工艺；
AE/AER 经济型（FKM O 圈轴封）：中真空通用，性价比高。

MIYUKI美幸辉 GAR-C63B 真空控制闸阀

MIYUKI美幸辉 GAR-C63B 真空控制闸阀

特征

01. 结构简单的蝶阀。

02. 支持 25A 至 250A 的多种直径。

03. 取消了金属滑动部件，从而减少了颗粒物的产生。

04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。

05. 在小开口处实现压力稳定性。

06. 由于电机直接驱动，因此没有反冲。

规格

口径25A 至 250A

工作压力范围10⁵ Pa 至10⁻⁵ Pa

内部密封件（阀门）泄漏1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低

外部密封件（轴）泄漏量1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低

气体接触部件的材料SUS304

阀门密封氟橡胶O型圈

轴封氟橡胶O型圈

耐热温度主机：150℃

电机：40℃

停电期间阀门运行停止（无保持力）

技术参数

使用压力区间：常压 \(10^5\ \text \sim 10^\ \text\)（高真空）

阀内泄漏：\(\le 1×10^\ \text^3/\text\)

轴封外泄漏：\(\le 1×10^\ \text^3/\text\)

介质接触面：SUS304 镜面抛光不锈钢，低放气、低粉尘

标准密封：FKM 氟橡胶；可选 - K 全氟醚密封

阀体耐温上限：150℃；伺服电机环境温度≤40℃

驱动：DC24V 无背隙直驱伺服；停电闸板锁止，防止腔体失压氧化工件