LINTEC琳得科 HX-0301L 大流量高温加热器
四大底层技术
全集团所有产品均依托四大自研核心技术：
精密涂布 / 胶粘配方技术（起家核心，UV 胶、微粘、无残胶、低离子洁净胶）
离型膜 / 特殊纸张表面改性（离型力精准可控）
光学薄膜超薄成型（高透光、低雾度、尺寸稳定）
流体精密控制技术（半导体 MFC 质量流量控制器专属技术）

LINTEC琳得科 HX-0301L 大流量高温加热器

LINTEC琳得科 HX-0301L 大流量高温加热器

产品优势

300℃超高温恒温能力

适配高升华温度固态源、高粘度液态前驱体，避免载气进入汽化腔降温导致汽化效率暴跌，是 ALD、金属有机 CVD 标配加热单元。

双 K 型热电偶测温，控温更稳定

内置 2 支 K 型热电偶，闭环 PID 控温，温度均匀无局部低温死角；过热保护 350℃自动断电，杜绝干烧风险。

半导体超高洁净流道

接气材质 EP 抛光 SUS316L 不锈钢，无橡胶密封；氦检漏≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，兼容 N₂/Ar/O₂、臭氧、轻度卤素工艺气体，满足 8/12 寸晶圆制程标准。

专用低流阻换热结构

额定 20SLM 工况压损 40kPa，串联 MFC 后端不会破坏流量控制精度，负压真空管路可稳定使用。

紧凑型模块化机身

尺寸 169×177mm，任意角度安装，适配真空台、机柜机架布局，整机重 2.0kg。

技术参数

表格

参数项目HX-0051H 规格

额定加热流量（N₂标定）0~20 SLM

最高连续使用温度300 ℃

耐压上限1 MPa(G)

20SLM 标准压力损失40 kPa

加热功率（AC200~240V）400 W

测温元件2 支 K 型热电偶

过热保护断开温度350℃±20℃

气路接头标准 1/4" VCR 内外丝

漏率（He）≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s

安装方式任意角度卧式 / 立式

整机重量2.0 kg