LINTEC琳得科 HX-0020 高温气体加热器
四大底层技术
全集团所有产品均依托四大自研核心技术：
精密涂布 / 胶粘配方技术（起家核心，UV 胶、微粘、无残胶、低离子洁净胶）
离型膜 / 特殊纸张表面改性（离型力精准可控）
光学薄膜超薄成型（高透光、低雾度、尺寸稳定）
流体精密控制技术（半导体 MFC 质量流量控制器专属技术）

LINTEC琳得科 HX-0020 高温气体加热器

LINTEC琳得科 HX-0020 高温气体加热器

高性能质量流量计

一种高性能数字液体质量流量计，集成了微流量传感器和PID控制器。

LM-3000L 配备高精度液体流量传感器。它能够以满量程（C2H5OH 当量）对 0.1 g/min 至 20 g/min 的微小流量进行高精度测量。

由于它内置了 PID 控制器，因此可以与 Lintec 的带阀门产品（汽化器、控制阀）结合使用，以控制液体流量。

特征

微流液体测量

汽化流量控制

精度±1%FS

金属密封件

洁净（保证无颗粒）

RS-485通信

关键特性

超微量液体专属热式传感

原厂自研液体流量传感器，最小满量程 0.1g/min，适配纳升级微量前驱体输送；内置全域温度补偿，温漂极低：零点 / 量程 ±0.1% FS/℃

高洁净耐腐蚀气液通路

接液材质：SUS316L 不锈钢，镀金金属硬密封，无橡胶件

He 检漏等级：1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，半导体无尘制程标准

兼容有机金属、硅氧烷、弱腐蚀液态源，无溶胀泄漏风险

内置 PID 运算单元

自带 PID 控制算法，外接 CV-1000 调节阀即可整套组成液体质量流量控制器，无需额外独立控制模块；搭配 VU 一体式汽化器可实现汽化前端精准流量监测，不受汽化炉高温干扰

双信号输出

数字：RJ45 接口 RS485 Modbus

模拟：D-Sub 9Pin 0~5V 流量读数输出（仅监测，无流量设定输入）

供电（与 MC-3000 气体系列一致）

双极性直流：+15VDC 150mA /-15VDC 200mA，不可单用 24V 电源